Michell高纯气体露点变送器Pura核心特性概览

高纯气体露点变送器专为**测量和控制高纯气体（例如半导体制造中的关键气体）中的微量水分而设计。这类设备不仅具备高精度和**的稳定性，还符合严格的工业标准，对于维持高纯气体的品质至关重要。在半导体等超纯气应用中，气体中残留的微量湿气对工艺过程的正常运行具有决定性影响。密析尔仪表凭借其深厚的技术积累，推出了经济高效、易于使用的在线露点测量解决方案，能够精准测量低至-120°C（相当于不到1 ppbV）的露点值。

Pura变送器：半导体与超纯气体的理想选择Michell高纯气体露点变送器Pura核心特性概览

Pura变送器融合了密析尔在阻抗露点传感器领域的专业经验，采用标准化工业材料和制造流程，打造出了一款适用于半导体制造及超纯气体应用的经济型变送器。以下是Pura变送器及同类高纯气体露点变送器的核心特性：

1. 高精度测量：提供±0.1°C或更高精度的水分含量测量，确保高纯气体的品质稳定。

2. 超低检测限：能够测量极低的露点温度，满足高纯气体应用中的严格要求。

3. 快速响应：迅速响应湿度变化，实现实时监控与控制，确保工艺过程的稳定性。

4. 长期稳定性：具备长期的校准稳定性，减少频繁校准的需求，降低维护成本。

5. 抗污染性能：有效防止气体污染，确保测量结果的准确性。

6. 自动校准：部分型号配备自动校准功能，确保传感器读数持续准确。Michell高纯气体露点变送器Pura核心特性概览

7. 耐腐蚀材质：采用不锈钢或特殊合金等耐腐蚀材料制造，适应各种腐蚀性气体环境。

8. 数字通信接口：提供RS-485、以太网或无线通信等数字通信接口，便于集成到自动化系统中。

9. 用户友好界面：配备直观的用户界面，包括触摸屏和图形显示，简化设置与操作。

10. 数据记录与分析：具备数据记录功能，便于历史数据的存储、分析与趋势追踪。

Pura变送器亮点

• 测量下限可达-120°C露点（1 ppbV），满足高纯气体测量的**要求。
• 测量稳定，重复性好，确保数据的可靠性。
• 高度集成的采样装置，简化安装与操作。
• 模拟和数字输出，灵活适应各种系统集成需求。
• 紧凑的设计，便于安装与携带。
• 可选显示/报警单元，满足不同应用场景的需求。

服务与校准Michell高纯气体露点变送器Pura核心特性概览

密析尔提供传感器替换与校准服务，确保设备的持续运行与可追溯性。传感器外壳采用冷拉不锈钢制成，内部达到清洁室标准，确保测量结果的准确性。

技术指标

• 传感器类型：密析尔陶瓷湿度传感器，量程覆盖-120°C至-40°C露点，精度可达±1°C至±4°C（根据不同温度范围）。
• 压力范围：低至10-9 torr，高至24 MPa。
• 气体流量：1~5 Nl/min。
• 电气性能：支持24 V DC电源，提供4-20 mA输出，具备输出出错状态指示。
• 机械性能：传感器套筒采用不锈钢材质，气路连接端口符合标准规格，安装配置灵活。

总之，高纯气体露点变送器凭借其**的性能特点，在半导体制造、光纤生产等高科技行业中发挥着至关重要的作用，为高纯气体的生产和处理提供了关键的湿度监测与控制手段。

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