Ldetek品牌MultiDetek2气相色谱仪超高纯八氟环丁烷(C4F8)特殊气体分析

氟环丁烷，或全氟环丁烷，C4F8，是一种碳和氟的化合物，用于半导体材料和器件的生产和加工，例如用作沉积气体和蚀刻剂。生产这种高纯度专用气体需要质量控制分析仪。

用我们的气相色谱仪MultiDetek2可以实现对C4F8作为腐蚀剂的复杂电子专用气体的生产质量的测量。

我们的系统使用PlasmaDetek2（PED）作为检测设备，以确保良好的选择性和灵敏度低至亚ppb水平。

多个清洗过的隔膜阀确保了泄漏的完整性，以保持ppb检测系统的纯度。色谱柱的选择适合于CF气体，以保持尽可能低的反应性和吸附性，以确保结果的稳定性。该装置的整个fow路径涂有惰性材料，以降低这种复杂电子气体混合物的反应性。Ldetek品牌MultiDetek2气相色谱仪超高纯八氟环丁烷(C4F8)特殊气体分析

  样品组成(C4F8):

八氟环丁烷(C4F8)样品气中痕量ppm杂质C5F8、C2F6、C3F8、CF4、CO2和C4F6的色谱图

Ldetek品牌MultiDetek2气相色谱仪超高纯八氟环丁烷(C4F8)特殊气体分析

MultiDetek2气相色谱仪与PlasmaDetek2检测器一起使用，可满足此类特殊气体应用的要求。带有净化隔膜阀的配置与涂层惰性气体流动路径和柱相结合，使系统**地适应这种特殊和复杂的气体。该系统是机架式和紧凑提供一个完整的远程控制。工业通信协议都是内置的，必须根据您的需求专门选择。

Ldetek品牌MultiDetek2气相色谱仪超高纯八氟环丁烷(C4F8)特殊气体分析

提供燃料氢气整体解决方案和配套供应商。

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